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電容式傳感器和彈性波式傳感器的介紹

時(shí)間:2021-03-13 點(diǎn)擊次數(shù):

簡(jiǎn)述電容式壓力傳感器及表面彈性波形壓力傳感器。

電容式壓力傳感器:

利用氧化鋁薄膜和底板相互靠近排列形成電容器,利用電容器薄膜上下壓差變化的性質(zhì),得到與壓力成正比的電容器值信號(hào)。將電容器連接到傳感器混合集成電路的振動(dòng)電路上,傳感器產(chǎn)生變頻信號(hào)。輸出頻率與進(jìn)氣壓力成正比,在80.120Hz之間發(fā)生變化。

表面彈性波形壓力傳感器:

用超聲波加工薄膜敏感區(qū)域的壓電基板,雕刻更換器(壓敏SAW延遲線),將更換器和電路組合成振動(dòng)器。

傳感器是在研磨過的壓電基板上設(shè)置兩個(gè)金屬叉,當(dāng)輸入傳感器叉在T1上添加電信號(hào)時(shí),反壓電效應(yīng)在基板壽命面上激發(fā)彈性表面波,傳播到傳感器文指T2,變成電信號(hào),擴(kuò)大后反饋T1,保持振動(dòng)狀態(tài)。兩個(gè)交換叉之間的表面彈性波傳播時(shí)間是延遲時(shí)間,其大小取決于兩個(gè)交換叉之間的距離。

由于進(jìn)氣分支管的壓力作用于壓電基板,壓力變化在薄膜敏感區(qū)域發(fā)生變化,即使交換叉指間距發(fā)生變化。因此,表面彈性波傳播的延遲時(shí)間發(fā)生了相應(yīng)的變化。這樣,壓力信號(hào)可以根據(jù)振動(dòng)頻率與延遲時(shí)間成反比輸出。

頻率壓力傳感器的信號(hào)電壓一般為5V或12V。當(dāng)空氣流量發(fā)生變化時(shí),電壓始終保持不變,輸出的脈沖頻率也發(fā)生變化,因此流量的變化不能根據(jù)測(cè)量電壓來確定。

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